一種用于飽和石墨舟的夾具
作者：jcshimo
發(fā)布時(shí)間：2021-08-27 13:45:07
一種用于飽和石墨舟的夾具飽和作用：條件是“一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁及硅片表面沉積速率一致”，而決定該速率的主要有溫度、電場(chǎng)、gas以及一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁的表面狀態(tài)這四大條件。
一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁表面狀態(tài)一致的條件：
1.一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁覆蓋一層氮化硅膜：
飽和工藝的作用就是在一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁上沉積一層氮化硅膜，從而使得內(nèi)壁各處均呈氮化硅狀態(tài)，這樣會(huì)使一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)部各處的氮化硅沉積速率趨于一致；
2.一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁平坦度一致:①平坦度不同會(huì)使電場(chǎng)分布不均勻，理論上會(huì)使鍍膜不均勻；②平坦度不同會(huì)引起內(nèi)壁表面積變化，會(huì)引起飽和程度不夠的現(xiàn)象。
飽和充分:①生產(chǎn)成本高;②飽和環(huán)境和實(shí)際鍍膜環(huán)境相同：硅片的存在會(huì)形成更大面積的電場(chǎng)，產(chǎn)生更多等離子體，一種用于飽和石墨舟的夾具內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜更充分。
飽和不夠充分:①生產(chǎn)成本低;②飽和程度不充分，前期鍍膜均勻性較差，色差片較多。